1、超声波强度。即单位面积声功率。超声清洗的效果好坏取决于空化作用，而空化作用的产生与超声波强度有关。在通常情况下，单位面积声功率超过0.3W/cm 2（输出电功率一般大于1W）水溶液就能产生空化。在一定范围内，超声波强度越大，空化作用越明显，也就说清洗效果越好。但太高的功率密度会由于空化作用太强而引起对工件的表面侵蚀使制件受损。另外当功率密度增加到一定程度就会出现饱和现象，清洗效果反而会下降。产生空化的功率密度临界点与频率还有关系，频率越高，产生空化的功率密度越大，例如16--20KHz时，功率密度临界点大约为0.3--0.4W/cm2；26--30KHz时，功率密度就选为0.5--0.8W/cm2；30--40KHz时，功率密度应选为1--1.2W/cm2。 　　
      2、超声波频率。超声波振动频率对于清洗效果有很大影响，这是由于超声波频率对于空化作用影响很大的缘故。实践证明同等功率情况下，低频时易于激发空化。即频率越低，空化作用效果越好，但噪音越大。反之，频率越高，空化作用效果越差，噪音越小。 　　
      3、清洗液温度。清洗的温度是影响清洗速度重要因素，适当的提高清洗液的温度，可增强空化能力，缩短清洗时间，但超过一定的温度，由于蒸汽压力相应增加反而使空化作用降低，因此必须保持一定的温度范围，如水溶剂清洗液一般在45℃左右，三氯烯清洗液在75℃左右。选择清洗液必须考虑选择的清洗液粘度要小，表面张力要小以利于清洗液的空化