主要特点：

成熟的模块化工艺组合

可面向用户工艺需要，定制化设计

已应用于20nm级别IC工艺线

针对LED生产线，提高整体解决方案

全自动清洗/手动清洗可选

整机防漏液设计

广泛应用于Ic、MEMS、LED、PV、电力电子、半导体材料等行业

标准配置：

高纯进口板材

高结晶工艺管道

高洁净气动阀门

防腐机械手

伺服电机驱动

人机对话界面，触摸屏操作

标准工艺模块

SC-I溶液腐蚀槽

SC-II溶液腐蚀槽

SC-III溶液腐蚀槽

QDR槽

循环清洗槽

超声/兆声清洗槽

可选模块：

鼓氮

水溶超声/水浴兆声槽

槽内加热/制冷循环

漏液检测

水阻检测

自动供液系统

自动配液系统

自动灭火系统（有机清洗）

ESD功能（有机清洗）

MES接口（可选）